电子设备制造的职业病危害因素识别与防护.pdfVIP

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电子设备制造的职业病危害因素识别与防护 芯片制造业作为微电子的核心,已经成为现代科技发展的主要动力。 芯片指集成电路,它是微电子技术的主要产品,微电子业以集成电路技术 为核心,包括集成电路的设计、制造。以下针对芯片制造过程中的职业病 危害因素进行识别,并制定职业病危害防治要点及采取的职业病危害防护 措施。 一、主要原、辅材料 芯片制造过程中,使用到的气体及液体化学物质种类较多且成分复杂, 部分化学物质为高毒物品、致癌物,还有一部分特种化学物质在我国尚未 有对应的检测方法及职业接触限值。 主要原、辅材料包括 :氯、氟化物、氢氟

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