洁净室维修及保养手册.docVIP

深圳市新亚电子制程股份 洁 净 室 维 修 保 养 及 管 理 手 册 深圳市新亚电子制程股份 地址: 深圳市福田区益田路6003号荣超商务中心A栋9楼 第 1 页 共 82 页 深圳市新亚电子制程股份 目 录 前 言 ............................................................................................................................................................... 4 第一章 空气净化设备 ..................................................................................................................................... 5 1.1 集中式空调净化处理机组 ................................................................................................................ 5 1.2洁净层流罩 ......................................................................................................................................... 5 1.3 传递箱 ................................................................................................................................................ 6 1.4货 / 风淋室 ........................................................................................................................................ 6 1.5 高效送风口 ........................................................................................................................................ 7 1.6 通风系统阀门及附件 ........................................................................................................................ 7 第二章 洁净室运行管理 ............................................................................................................................... 10 2.1化空调处理机组的安装、运行及维护 ............................................................................................ 10 2.11注意事项.................................................................................................................................. 10 2.12机组的装卸与运输 ................................................................................................................. 11 2.13 机组安装 ................................................................................................................................ 12 2.14机组使用 ......................