真空系统原理图.pptVIP

* * * 真空容器 低真空泵 1.4.3.1 典型真空系统原理流程图——低真空系统 真空阀门 充气阀门 低真空计 1.4.3.2 典型真空系统原理流程图——（超）高真空系统 真空容器 充气阀门 低真空计 （粗抽泵/前级泵） 高真空计 （（超）高真空泵为气体输送型） 低真空泵 （主泵） （超）高真空泵 低真空计 真空阀门 真空阀门 真空阀门 1.4.3.3 典型真空系统原理流程图——超高真空系统 真空容器 充气阀门 低真空计 高真空计 （超高真空泵为气体捕集型） （主泵） 超高真空泵 （粗抽泵） 低真空泵 真空阀门 真空阀门 * * *