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河南真题·说明文 2021年 光刻机——信息时代的制造之王 ①你知道手机中的芯片是怎么制造出来的吗？芯片的主要原材料——硅要经过一系列精细、复杂的处理才能变成芯片。而作为芯片制造的核心，前道工艺的每一层都需要用光刻机进行图形转移套刻曝光。光刻机是芯片制造的母机，也是信息时代的制造之王。 ②顾名思义，光刻机是以光为媒介，刻画微纳于方寸之间，实现各种微米甚至纳米级图形加工的制造工具。光刻机的应用，从火星探测器等大国重器到电脑CPU、LED灯等日常用品，无处不在。 ③根据不同应用场景，目前的主流光刻机可以分为接近接触式、投影式、直写式三类。 ④接近接触式光刻机的工作原理类似于我们的“手影”游戏。它利用已有的图形，阻挡光线的传播，从而形成明暗相间的图形分布，结合待加工表面感光胶的感光特性，记录下所需要的图形。这种光刻机具有设备结构相对简单、工作效率高、工艺适应性强等优点，但也存在分辨力低、曝光图形质量差、工艺一致性差等缺点。接近接触式光刻是目前器件制造中应用十分广泛的一种复制型光刻方法，在光刻分辨力相对要求低、芯片面积大、厚胶和非标基片等场景，集成电路和平板显示以外的各种器件基本以该种光刻方法为主。 ⑤投影式光刻机的工作原理类似于照相机。它采用投影式的工作方式，掩模与基片不再相互接触，极大地避免了对掩模或基片的损伤，而且可以加工出比掩模版图形更细小的结构。除此以外，投影式光刻机具有扫描成像