表面与界面物理.pptx

;电子束技术和电子能谱;电子束产生的原理图;电子束的能量可由加速电压精确控制 原子对电子的非弹性散射很大，500eV以内电子的平均自由程只有几埃至几十埃，特别适合表面分析 电子束能有效被各种仪器检测和计量 通过电子棱镜和偏转系统可容易测量出电子束的角度分布和能量分布 分析完成后，电子束在真空中以电流形式消失，对真空室无任何污染 电子束分析设备简单便宜;弹性散射，电子本身不损失能量； 非弹性散射，电子传递或吸收样品能量； 注入样品内； 由于其波长与样品晶格常数接近，满足布拉格方程或劳埃关系，产生衍射花样； 轰击样品，产生二次电子和X-射线； 断裂表面键，诱导脱附。 ;Fig. 3. 2;V（kV）;Fig. 3.4;电子束技术的特征;;;SEM的结构示意图 ;; SEM的主要工作模式之一就是二次电子模式。二次电子是入射电子从样品表面激发出来的能量最低的一部分电子。二次电子低能量的特点表明，这部分电子来自样品表面最外层的几层原子。;背反射电子像 ;SEM提供的其他信号形式 ;透射电子显微镜（TEM）; TEM的电子束不采用扫描方式，而是固定地照射在样品中的一个区域上； TEM的工作方式是使被加速的电子束穿过厚度很薄的样品，并在这一过程中与样品中的原子点阵发生相互作用从而产生各种形式的有关表面、薄层结构和成分的信息。;影像模式 衍射模式 ;;TEM的衍射模式 ;; 通过TEM的电子衍射谱，可得到以下一些结构信息： 晶体点阵的类型和点阵常数； 晶体的相对方位和取向； 与晶粒的尺寸大小、孪晶等相关的晶体缺陷的显微结构信息。;TEM的影像模式 ;Au薄膜的高分辨率点阵像; 具有一定能量的电子（电子波）作用于晶体上时，被晶体中原子散射，各散射电子波之间产生互相干涉现象。晶体中每个原子均对电子进行散射，使电子改变其方向和波长。在散射过程中部分电子与原子有能量交换作用，电子的波长发生变化，此时称非弹性散射；若无能量交换作用，电子的波长不变，则称弹性散射。在弹性散射过程中，由于晶体中原子排列的周期性，各原子所散射的电子波在叠加时互相干涉，散射波的总强度在空间的分布并不连续，除在某一定方向外，散射波的总强度为零。; 1927年，C.J.戴维孙和L.H.革末在观察镍单晶表面对能量为100eV的电子束进行散射时，发现了散射束强度随空间分布的不连续性，即晶体对电子的衍射现象。几乎与此同时，G. P.汤姆孙和A.里德用能量为20keV的电子束透过多晶薄膜做实验时，也观察到衍射图样。电子衍射的发现证实了L.V.德布罗意提出的电子具有波动性的设想，构成了量子力学的实验基础。 ; 图中，第一栅接地，使衍射电子自由飞过样品和栅之间的空间；第二栅加几十伏负电压，可滤去非弹性散射电子。荧光屏施加千伏高压，使电子有足够的能量激发荧光物质。由于物质对电子的散射比对 X射线的散射强很多，使低能电子具有很高的表面灵敏度。;; 发生“衍射”的基本条件是：2dsin?=n?，即入射波长与原子晶格大小相近。 正常固体的原子间距为0.1nm数量级，因此常用的电子探针的能量应在1000eV以下，故称为低能电子衍射。 这种低能电子衍射电子的平均自由程为2nm以下，它们在固体中的穿透深度只有数个原子层，也就是说，低能电子只能感受到晶体的二维周期场的存在，因而所获得的信息应为表面信息，LEED是一种对表面“敏感”的分析手段。; 低能电子衍射(LEED)是利用10~500eV (波长为0.5~4?)的电子入射，通过弹性散射，电子波间的相互干涉产生衍射图样，由于晶体中的原子对电子有很大的散射截面，则参与衍射的只限于2~3层原子，是研究固体表面晶体结构的主要技术。 LEED图样是与二维晶体结构相对应的二维倒易点阵的直接投影，特别适用于清洁晶体表面和有序吸附层的结构分析。 ;LEED的特点2;低能(a)及反射式高能(b)电子衍射方法的示意图; 电子衍射可用来作物相鉴定、测定晶体取向和原子位置。由于电子衍射强度强，电子极易为物体所吸收，则电子衍射适合于研究薄膜、大块物体的表面以及小颗粒的单晶。此外，在研究由原子序数相差悬殊的原子构成的晶体时，电子衍射较X射线衍射更优越些。 电子衍射作用远比X射线与物质的交互作用强，则在金属和合金的微观分析中特别适用于对含少量原子的样品，如薄膜、微粒、表面等进行结构分析。 三维晶体点阵的电子衍射能量高于100keV、波长小于0.037nm的电子束在物质中的穿透能力约为0.1μm，相当于几百