第7章TCAD工具仿真流程及在ESD防护器件性能评估方面的.pptVIP

* 从工艺级仿真向器件(qìjiàn)级仿真的过渡流程 从工艺级仿真(fǎnɡ zhēn)向器件级仿真(fǎnɡ zhēn)的过渡，主要涉及了三 类文件（除后缀名外，以下文件名均可自取）： 版图层次mask文件nmos.tl1， 工艺描述文件process， 器件仿真(fǎnɡ zhēn)程序文件ggNMOSa.txt，ggNMOSb.txt（这两个文件可以合并）。 */65 浙大微电子 第三十一页，共65页。 * 第*页/共92页 Mask定义(dìngyì) TL1 0100 1e3 0 5600 2 STI 2 0 1000 4600 5600 PWELL 1 0 5600 nmos.tl1 以上(yǐshàng)语句中，TL1 0100是文件开头标识，被工艺和器件仿真程序所识别；第2行的1e3表示以下所出现的坐标均放大了1000倍，即所有坐标以nm为单位（默认情况下，单位为μm）。 * */65 浙大微电子 第三十二页，共65页。 * 调用(diàoyòng)mask文件 工艺仿真需要导入的mask文件以.tl1为后缀名，本例中的mask文件的文件名是nmos.tl1，相应的描述语句是： mask in.file=nmos.tl1 对工艺文件进行仿真后要导出保存(bǎocún)的文件是