pv制造工程上的感器用提案part.pptxVIP

1 ３．结晶硅太阳能电池工程中传感器的应用 ＰＥ-ＣＶＤ设备　溅射设备 防反射膜 （氮化硅） 耐蚀・耐热光纤 FT-HL80Y ・适用于各种化学品环境 ・耐热115℃、side-view type 真空光纤/耐热光纤 ・适用于设备内部晶圆检测 冷却装置的漏液监测 FX-F/FD-F 通用品EF-F7 series 耐蚀规格EF-F6 series 光纤式 （防爆）FD-F7 series 热排气确认用・微压差传感器 DP-M2A ・测定范围 0～2.00 kPa、分解能 10 Pa ・各工序槽的排热确认 2 ３．结晶硅太阳能电池工程中传感器的应用 溅射设备 丝网印刷设备 干燥炉 铝层 ３Ｄ印刷设备 ・只要检测到液体时ON、此外全部为OFF状态的安全设计 （暂无耐蚀规格） 管道安装液位检测光纤 FT-F902 真空光纤/耐热光纤 ・适用于设备内部晶圆检测 压力传感器 DP-100 ・适用于各种压力确认 安全光幕・各种安全器件 安全光幕　SF2B系列 带电磁锁的安全门锁　　　AZM170系列 钥匙自动收纳型 3 ３．结晶硅太阳能电池工程中传感器的应用 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置 ｽｸﾘｰﾝ印刷装置 その後、乾燥炉 铝背表面电极 干燥设备 耐真空光线/耐热光线 ・适用于设备内部晶圆检测 压力传感器 DP-100/流量传感器 FM-200 ・双画面3色标示 适用于各种压