多晶硅清洗机和清洗多晶硅的方法.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 *|r (10)申请公布号 C\? 111151504 A (43)申请公布日2020. 05. 15 申请号 202010062867.5 C30B 29/06(2006.0}) 申请日 2020.01.19 (71)申谐人洛阳中硅高科技有限公司 地址171023河南省洛阳市洛龙科技工业 园牡丹大道西1号 申请人中国恩菲工程技术有限公司 (72)发明人陈辉曲宏波刘应全张潼 蔡爱梅张征张邦沽 (74)专利代理机构北京治亦华知识产权代理书 务所(普通合伙)11201 代理人末合成 (51)lnt.CI. B08B 5/0S(2006.01) B08B，必X 2006.01) C30B ^5/7(X2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图1页 (54)发明名称多晶硅清洗机和清洗多晶硅的方法(57) (54)发明名称 多晶硅清洗机和清洗多晶硅的方法 (57)摘耍 本发明公开了多晶硅清洗机和清洗多晶硅 的方法，其中，多品硅清洗机包括:本体和惰性气 体喷吹装置，本体内设有机械手和顺序布置的酸 ，腐蚀槽、第一快速冲洗槽、笫二快速冲洗槽和纯 水过渡槽:惰性气体喷吹绽祖包括输气管道和多 个风刀喷口，输气管道伸入本体内并延伸至酸牖 蚀槽和第?快速冲洗槽上方：多个风刀喷口设在 输气管道上并沿输气管道的走向间隔分布,且多 个风刀啧「I