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各种创新消费类产品的MEMS传感器应用设计 MEMS即微机电系统，是利用微米级立体结构实现感应和执行功能的一项关键技术。其中，微米级立体结构是利用被称为微加工的特殊工艺实现的微米大小的立体机械结构。 因为技术和经济的原因，MEMS传感器曾经被局限在汽车市场和工业应用领域；今天，随着MEMS传感器越来越小，价格越来越低，能效越来越高，设计和应用空间不断扩大，它在消费类应用市场的普及率正在不断提高。 制造这些器件所采用的微加工技术与制造基本集成电路所采用的工序和工艺大同小异，只不过微加工的产品通常是一个能够活动的立体的机械结构（如图1）。 虽然制造MEMS产品可以使用多种不同的材料，但是硅越来越受到业界的欢迎，因为硅的电气、机械和热属性都非常出色。此外，半导体厂商还意识到，如果使用成熟的芯片量产制造技术，在晶片上一次可以制造数以万计的MEMS器件。这就是说，MEMS可以利用微电子器件现有的规模经济，获得更大的成本优势，特别是在进军消费类产品市场时，利用好这个优势更加重要。因此，以硅为MEMS材料的吸引力最大。 过去，在没有这项技术之前，有很多应用是不可能的；今天，这项技术正在将这些应用变为可能。 手提电脑、手机、便携媒体播放器和移动终端设备内的硬盘驱动器坠落保护功能，是MEMS运动传感器在消费电子市场的具有重要历史意义的代表性应用之一。 在手提电脑内的三轴加速计可以监测加速度，因为具有特定的功能和数据处理电路，它能够检测到硬盘驱动器的意外摔落事故，并及时命令读写头缩回到安全位置，以防电脑最终摔落在地板上时损坏读写头。 健身和健康监测是MEMS传感器的另一类具有代表性的应用。 计步表或计步器是利用三轴MEMS传感器实现健身和健康监测功能的代表性应用，在特定的情况下，计步器的传感器能够精确地测定在步行和跑步过程中作用在系统上的加速度，通过处理加速度数据，计步器显示用户走过的步数和速度，以及在身体运动过程中所消耗掉的热量。 图1：基于MEMS的线性加速计。 图2：意法半导体开发的一款基于MEMS的计步器参考设计。 计步器功能通常被嵌入在在手机和便携媒体播放器（MP3和MP4）内，对于这些设备，可以设定在固定时间内要达到的步数目标，并能测量完成这个目标所消耗的热量。虚拟健身房的会员之间还可以在网上分享这些信息，并开展以促进体育活动和健身运动为目标的虚拟比赛。 计步器也是便携式导航仪中的一个重要模块。便携式导航仪能够确定使用者的位置，提供引路功能，查找公共服务地点，接收地区广告。在特殊情况下，例如，在市区，因为地下通道、立交桥、高楼、室内的阻挡，GPS信号会变弱，这时MEMS运动传感器的信号就可以暂时替代GPS模块，起到辅助导航定位的作用。 在另一项应用中，MEMS传感器可以用于设计一种老人急救设备。当老人意外摔倒时，这个设备可以检测到摔倒动作，自动发出一个报警信号，请求紧急救援。通过MEMS传感器和GPS模块，可以估算到需要救助的受伤老人所在位置，并在网络上传送位置信息。在不久的将来，这些仪器商用化后，将会给不断增长的老龄化人群提供一个更安全的生活环境。 如今，能够检测运动、方向和手势的MEMS传感器正推动运动传感技术向手机、游戏机、便携媒体播放器等市场扩展。 先进的功能、小巧的外观、出色的能效，MEMS传感器正在促进更加人性化的设备问世，有了这些能够识别人类手势的设备，用户不必再阅读冗长、复杂的用户手册，学习如何使用人机界面。 MEMS有助于打破用户与应用之间的障碍：传感器像系统的眼睛，能够测量加速度和角速度等物理量；电子元器件处理传感器送来的信息，利用特殊的算法识别输入数据，然后激活相应的功能。 游戏机是运动跟踪和手势识别应用的突出代表，以具有革命性的任天堂Wii游戏机为例，微型运动传感器能够捕捉到玩家任何细微的动作，并将其转化成游戏动作。MEMS技术让玩家动起来：玩家陶醉于真实的游戏体验，通过不同的动作融入到游戏中，例如，模仿一场真实的网球赛、一场引人入胜高尔夫球赛、一场紧张的拳击赛或轻松的钓鱼比赛的动作（如图3）。 图3：MEMS使玩家动起来。 MEMS技术在手机和PDA中的使用率正在提高，目前市场上采用MEM加速计的手机越来越多。手机中的MEMS加速计使人机界面变得更简单、更直观，通过手的动作就可以操作界面功能，全面增强了用户的使用体验（见图4）。 图4：MEMS运动控制式用户界面。 根据终端设备的指向，MEMS传感器可以把图像、视频和网页（无论是人物肖像还是风景画面）进行旋转。通过上下左右倾斜手机，还可以查看手机菜单；只要轻轻击打手机机身，就可以在屏幕上选中不同的图标，所有这些智能功能离不开新一代MEMS器件内嵌的先进数字技术。 有了MEMS加速计，只要把设备向某一方向倾斜，就能在小屏幕上详细查看地图，显示放大的图像。MEM