晶圆外延层电阻率无损测试仪方案设计.pdfVIP

摘 要 电阻率作为半导体材料中一个很重要的性能指标 , 通过对它的测量可以得到材料的 掺杂浓度等众多重要的信息 , 所以其测量过程很重要。为了适应集成电路的快速发展 , 半 导体材料需要更高的检测要求，仅仅要求测量结果准确已经不能满足人们的需求了，还 要保证检测过程对被测物体无损坏 , 这就迫切需要可靠性好、 测量精度高的无损测试方案。 涡流法检