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薄膜生长与制备技术 薄膜生长与制备技术 薄膜生长与制备技术 中国光学学会光学薄膜专业委员会副主任 广东省光学学会光学薄膜专业委员会主任 中山大学光电材料与技术国家重点实验室 State Key Laboratory of optoelectronic materials and technologies, Sun Yat-senUniversity 薄膜制备技术 薄膜的表征技术 1薄膜气相成核 宏观热力学理论原子模型的统计学方法 薄膜成核长大的热力学和动力学 金属薄膜的生长 半导体薄膜的生长 薄膜生长的计算机模拟2薄膜成核长大 1薄膜气相成核 1.1 宏观热力学理论 1.1.1 自发形核理论 1.1.2 非自发形核理论 1.1.3 成核速率 1.1.4 衬底温度和沉积速率对形核过程的影响 1.2 原子模型的统计学方法 2 薄膜成核长大 2.1薄膜成核长大的热力学和动力学 2.1.1 薄膜成核长大中的三类过程：薄膜成核长大中的三类过程： 局部平衡过程 动力学限制过程 动力学禁止过程 2.1薄膜成核长大的热力学和动力学 2.1.2 薄膜生长的三种模式层状生长膜（层状生长膜（