子字线驱动器的制作方法.docxVIP

PAGE PAGE 1 子字线驱动器的制作方法 在本专利文档中藏匿的技术和实现总体上涉及子字线驱动器，并且更详细地涉及用于半导体存储器装置的子字线驱动器。背景技术：半导体装置可以向或从联接到字线和位线的存储器单元写入或读取数据。联接到字线的存储器单元可以形成单行，使得存储器单元响应于施加到字线的电压而操作。随着高容量半导体装置的数量增强，在布置成单行的存储器单元中的线(或布线)的电阻也增大。因此，需要减小联接到存储器单元的字线的长度，以降低电阻并优化最小延迟时光。在一个提出的解决计划中，一种布置用于挑选存储器单元阵列的行的字线的改进办法包括将该线划分为多个区段。也就是说，分层级的字线驱动办法已广泛用法以通过将字线分成多个区段(每个区段具有合适的较短长度)而形成多条子字线。技术实现要素：所藏匿的技术的各种实施方式涉及一种具有子字线驱动器的改进的存储器装置结构，该子字线驱动器具有减小的面积或占领区(footprint)，其允许将子字线分成更短的区段以削减或最小化延迟时光。按照所藏匿的技术的实施方式，子字线驱动器可以包括：挑选控制器，其被配置为响应于挑选信号和字线驱动信号，挑选性地输出第一组字线挑选信号和其次组字线挑选信号中的任何一个；以及多个驱动电路，其被配置为响应于主字线驱动信号、字线驱动信号、第一组字线挑选信号和其次组字线挑选信号，挑选性地输出多个子字线驱动信号中的任何一个。按照所藏匿的技术的另一实施方式，子字线驱动器可以包括：多个第一有源区，其在第一区域内在第一方向和其次方向中的每个方向上以预定距离彼此间隔开；以及主字线，其形成为通过在第一方向上延长而横穿多个第一有源区。主字线可以包括：第一线，其形成为在第一方向上延长；其次线，其形成为在第一方向上延长，并且被配置为在其次方向上与第一线间隔开预定距离，以及衔接线，其被配置为在第一区域的端部在其次方向上将第一线和其次线互连。按照所藏匿的技术的又一实施方式，子字线驱动器可以包括：多个第一有源区和多个其次有源区，其在第一区域内在第一方向和其次方向中的每个方向上彼此间隔开预定距离；多个第三有源区和多个第四有源区，其在与第一区域邻近的其次区域内在第一方向和其次方向中的每个方向上彼此间隔开预定距离；第一主字线，其形成为在第一方向上延长，并被配置为横穿多个第一有源区和多个第三有源区；以及其次主字线，其形成为在第一方向上延长，并被配置为横穿多个其次有源区和多个第四有源区。第一主字线和其次主字线中的每一者包括：第一线，其形成为在第一方向上延长；以及其次线，其形成为在第一方向上延长，并且被配置为在其次方向上与第一线间隔开预定距离，其中，衔接线被配置为在其次区域的端部在其次方向上将第一主字线的第一线和其次线互连，以及其中，衔接线被配置为在第一区域的端部在其次方向上将其次主字线的第一线和其次线互连。应该理解，所藏匿的技术的前述概括描述和以下具体描述都是示例性和说明性的，并且旨在提供对所要求庇护的本藏匿的进一步说明。附图解释当结合附图参考以下具体描述时，所藏匿的技术的上述和其它特征以及有益方面将变得自不待言。图1是例示按照本藏匿的实施方式的半导体装置中的具有子字线驱动器和其它元件的单元阵列的暗示图的框图。图2例示了按照本藏匿的实施方式的图1的子字线驱动器的示例。图3是例示按照本藏匿的实施方式的图2所示的挑选控制器的示例的具体电路图。图4是例示按照本藏匿的实施方式的图2中的子字线驱动器部分的布局结构的暗示图。图5是例示按照本藏匿的实施方式的图2中的子字线驱动器的一部分的另一布局结构的暗示图。图6是例示按照本藏匿的实施方式的图2中的子字线驱动器的又一布局结构的暗示图。图7例示了按照本藏匿的实施方式的图2的子字线驱动器的示例。图8是例示按照本藏匿的实施方式的图7中的子字线驱动器的布局结构的暗示图。详细实施方式本专利文档描述了基本解决了由相关技术的局限和缺点引起的一个或更多个问题的子字线驱动器的实现和示例。所藏匿的技术的一些实现或实施方式提出了一种用于改进半导体存储器装置结构使得子字线驱动器所占领的区域能够在尺寸上最小化的子字线驱动器。熟悉到以上问题，所藏匿的技术提供了子字线驱动器的各种实现，该子字线驱动器被配置为使得子字线驱动器所占领的面积或占领区能够在尺寸上最小化。现在将具体参照所藏匿的技术的实施方式举行解释，其示例在附图中示出。尽可能地，贯通附图用法相同的附图标志指代相同或相像的部分。从下文结合附图描述的实施方式中，将清晰地理解所藏匿的技术的优点和特征以及实现所藏匿的技术的优点和特征的办法。然而，本藏匿不限于以下实施方式，并且可以以各种不同的方式或形式来实现。提供示例性实施方式仅是为了将所藏匿的技术彻低传达给所藏匿的技术所