超纯水系统工艺流程图.pdfVIP

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C 自来水进水 P 取样 F 保安过滤器 不合格排放 P Pc P 原水箱 原水泵 机械过滤器 活性炭过滤器 软水器 盐箱 高压泵 反渗透装置 P F 紫外线 紫外线 R 杀菌灯 杀菌灯 R F 化学计量泵 用水点 纯水出口 F F P 风机 调压阀 P P 过滤器 P 不合格排放 FI 循环泵 氮气瓶 0.1um过滤器 Fk C 浓水回流 极水 浓水 纯水 Fk 或排放 抛光混床 超纯水泵 氮封超纯水箱 极水排放 0.2um过滤器 纯水泵 脱气水箱 二级EDI膜堆 符号说明: 不合格排放 P Pc F R C FK 电磁阀 球阀 止回阀 压力表 压力控制器 流量计 电阻率表 电导率表 流变控制开关 图 3 常用的一级 RO+二级 ED

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