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概念：利用外力将一定密闭空间内的气体分子移走，使该空间内的气压小于 1 个大气压，则该 空间内的气体的物理状态就被称为真空。一种低压的、稀薄的气体状态， 现代真空技术的极限：每 cm3空间内仅有数百个气体分子 ?对应气压 ? 10-12 Pa;气体分子的速度分布;例1，求0℃，P = 1.3 ? 10-4Pa氧气， 1）气体分子密度；2) 分子平均速度；3）平均自由程；4）碰撞次数 （已知0℃氧气分子直径3.6 ? 10-8 cm，单分子层分子数8.7 ? 1014 个/ cm2）; 旋转式机械真空泵 油扩散泵 复合分子泵 分子筛吸附泵 钛升华泵 溅射离子泵 低温泵;（1） 旋片式机械泵（Rotary Pump）;真空测量技术分为低真空和高真空测量，常用的有三种方法 1. 皮拉尼真空规 2. 热偶真空规和 3. 电离真空规;物理气相沉积法 PVD是利用某种物理过程，如物质蒸发或在受到粒子轰击时物质表面原子的溅射等现象，实现物质从原物质到薄膜的可控的原子转移过程;1. 饱和蒸气压( ) ;计算1%的温度变化，Al蒸发薄膜生长速率的变化情况。 B值为3.586×104K，蒸气压为１托时的蒸发温度值为1830K ;点蒸发源空间角示意图;