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JZ-460/660 多晶铸锭炉操作与使用手册
目 录
1 综述 4
1.1 概述 4
1.2 工作原理 4
1.3 工艺过程与技术特征 4
1.4 主要技术参数 5
1.5 附件 8
2 JZ-460/660 多晶铸锭炉结构说明 8
2.1 结构简述 8
2.2 炉体支架与下腔室提升驱动装置 9
2.3 炉体腔室 9
2.3.1 上腔室 10
2.3.2 下腔室 11
2.3.3 炉盖 11
2.4 热场系统 12
2.5 钢笼提升系统 12
2.6 测温系统 14
2.6.1 红外测温部分 14
2.6.2 热电偶部分 15
2.7 气路系统 16
2.7.1 抽真空系统 17
2.7.2 气路系统 17
2.7.3 压缩空气系统 18
2.7.4 氩气系统 18
2.8 水冷系统 18
3 操作界面介绍 20
3.1 操作主界面 20
3.2 报警界面 22
北京京运通科技股份有限公司 1
JZ-460/660 多晶铸锭炉操作与使用手册
3.3 模式界面 23
3.3.1 模式界面概述 23
3.3.2 主参数介绍说明 27
3.3.3 修改进入手动的密码 31
3.4 配方界面 31
3.4.1 配方界面的操作介绍 31
3.4.2 配方里控制环路介绍 34
3.5 手动界面 35
3.5.1 隔热层运动 35
3.5.2 温度控制 37
3.5.3 维修调试 38
3.5.4 下腔室运动 38
3.5.5 下
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