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精密位移量的激光干涉测量方法及实验一实验目的了解激光干涉测量的原理掌握微米及亚微米量级位移量的激光干涉测量方法了解激光干涉测量方法的优点和应用场合二实验原理本实验采用泰曼格林干涉系统干涉系统是著名的迈克尔逊白光干涉仪的简化用激光为光源可获得清晰明亮的干涉条纹其原理如图所示参考镜激光器测量镜扩束准直系统干涉条纹图干涉系统激光通过扩束准直系统提供入射的平面波平行光束设光轴方向为轴则此平面波可用下式表示式中平面波的振幅为波数激光波长此平面波经半反射镜分为二束一束经参考镜反射后成为参考光束其复振幅用下式
精密位移量的激光干涉测量方法及实验
一、实验目的：
1． 了解激光干涉测量的原理
2 ． 掌握微米及亚微米量级位移量的激光干涉测量方法
3 ． 了解激光干涉测量方法的优点和应用场合
二、实验原理
本实验采用泰曼－格林（ Twyman-Green ）干涉系统， T －G 干涉系统是著名的迈克尔逊
白光干涉仪的简化。用激光为光源，可获得清晰、明亮的干涉条纹，其原理如图
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