第二十五章透射电子显微镜讲解.pdf

第 25 章 透射电子显微镜 透射电子显微技术自 20 世纪 30 年代诞生以来， 经过数十年的发展， 现已成为材料、 化学化工、 物理、 生物等领域科学研究中物质微观结构观察、 测试十分重要的手段。电子显微学是一门探索电 子与固态物质结构相互作用的科学，电子显微镜把人眼睛的分辨能力从大约 0.2 mm 拓展至亚原子 量级（ 0.1nm) ，大大增强了人们观察世界的能力。尤其是近 20 多年来，随着科学技术发展进入纳 米科技时代，纳米材料研究的快速发展又赋予这一电子显微技术以极大的生命力， 可以这样说， 没 有透射电子显微镜， 就无法开展纳米材料的研究； 没有电子显微镜，开展现代科学技术研究是不可 想象的。目前，它的发展已与其他学科的发展息息相关，密切联系在一起。 25.1 基本原理 透射电子显微镜在成像原理上与光学显微镜是类似的（图 25-1 ），所不同的是光学显微镜以可 见光做光源，而透射电子显微镜则以高速运动的电子束为 “光源 ”。在光学显微镜中，将可见光聚焦 成像的是玻璃透镜；在电子显微镜中，相应的电子聚焦功能是电磁透镜，它利用了带电粒子与磁 场间的相互作用。 理论上，光学显微镜所能达到的最大分辨率 d，受到照射在样品上的光子波长 λ以及光学系统 的数值孔径 N 的限制： A d （25-1 ） 2nsin 2NA 在 20 世纪初，科学家就已发现理论上使用电子可以突破可见光的光波波长限制（波长范围 400~700nm ）。由于电子具有波粒二象性，而电子的波动特性则意味着一束电子具有与一束电磁辐 射相似的性质。电子波长可以通过徳布罗意公式使用电子的动能推导出。由于在 TEM 中，电子的 速度接近光速，需要对其进行相对论修正： h e （25-2 ） E 0 2m E(1 2 ) 0 2m c 式中， h 表示普朗克常数； m 表示电子的静质量； E 是加速电子的能量； c 为光速。电子显微镜中 0 的电子通常通过电子热发射过程或者采用场电子发射方式得到。 随后电子通过电势差进行加速， 并 通过静电场与电磁透镜聚焦在样品上。 透射出的电子束包含有电子强度、 相位、 以及周期性的信息， 这些信息将被用于成像。 在真空系统中， 由电子枪发射出的电子经加速后， 通过磁透镜照射在样品上。透过样品的电子 被电子透镜放大成像。成像原理是复杂的，可发生透射、散射、吸收、干涉和衍射等多种效应，使 得在相平面形成衬度（即明暗对比） ，从而显示出透射、衍射、高分辨等图像。对于非晶样品而言， 形成的是质厚衬度像，当