电镜工作原理.pdfVIP

如文档对你有用，请下载支持！ 中国地质大学（北京） 课程结业报告 《扫描电子显微镜》 学院：珠宝学院 专业：宝石学 学号： 39 姓名：代会茹 日期：2011 年 11 月 3 日 联系电话： 扫描电子显微镜读书报告 一、扫描电镜的工作原理 扫描电镜是对样品表面形态进行测试的一种大型仪器。当具有一定能量的 入射电子束轰击样品表面时， 电子与元素的原子核及外层电子发生单次或多次弹 性与非弹性碰撞， 一些电子被反射出样品表面， 而其余的电子则渗入样品中， 逐 如文档对你有用，请下载支持！ 渐失去其动能，最后停止运动，并被样品吸收。在此过程中有 99%以上的入射电 子能量转变成样品热能， 而其余约 1%的入射电子能量从样品中激发出各种信号。 如图 1 所示，这些信号主要包括二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、 俄歇电子、电子电动势、阴极发光、 X 射线等。扫描电镜设备就是通过这些信号 得到讯息，从而对样品进行分析的。 图 1 入射电子束轰击样品产生的信息示意图 从结构上看，如图 2 所示，扫描电镜主要由七大系统组成， 即电子光学系统、 探测、信号处理、显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系 统、电源供给系统。 图 2 扫描电子显微镜结构图 由图 3 我们可以看出，从灯丝发射出来的热电子，受 2-30KV 电压加速，经 两个聚光镜和一个物镜聚焦后， 形成一个具有一定能量， 强度和斑点直径的入射 电子束，在扫描线圈产生的磁场作用下， 入射电子束按一定时间、 空间顺序做光 栅式扫描。 由于入射电子与样品之间的相互作用， 从样品中激发出的二次电子通 过收集极的收集， 可将向各个方向发射的二次电子收集起来。 这些二次电子经加 速并射到闪烁体上， 使二次电子信息转变成光信号， 经过光导管进入光电倍增管， 使光信号再转变成电信号。 这个电信号又经视频放大器放大， 并将其输入到显像 管的栅极中， 调制荧光屏的亮度， 在荧光屏上就会出现与试样上一一对应的相同 图像。入射电子束在样品表面上扫描时， 因二次电子发射量随样品表面起伏程度 （形貌）变化而变化。 故视频放大器放大的二次电子信号是一个交流信号， 用这个交流信号调制显 像管栅极电， 其结果在显像管荧光屏上呈现的是一幅亮暗程度不同的， 并反映样 品表面起伏程度（形貌）的二次电子像。应该特别指出的是：入射电子束在样品 表面上扫描和在荧光屏上的扫描必须是 “同步”，即必须用同一个扫描发生器来 控制，这样就能保证样品上任一“物点”样品 A 点，在显像管荧光屏上的电子束 恰好在 A’点即“物点” A 与“像点” A ’在时间上和空间上一一对应。通常称“像 点”A’为图像单元。显然，一幅图像是由很多图像单元构成的。 扫描电镜除能检测二次电子图像以外， 还能检测背散射电子、 透射电子、 特 征 x 射线、阴极发光等信号图像。其成像原理与二次电子像相同。 在进行扫描电镜观察前， 要对样品作相应的处理。