x射线光电子能谱分析.pptx

X射线光电子能谱分析;主要内容;发展历程;基本原理;对能谱分析； 可以测量光电子的能量，以光电子的动能为横坐标，相对强度(脉冲/s，代表光电子数量)为纵坐标可做出光电子能谱图，从而获得待测物组成;X射线光电子能谱仪设备;XPS射线源 射线源的主要指标是：强度和线宽；最常用的X射线源主要由灯丝、栅极和阳极靶构成。;电子能量分析器 电子能量分析器是测量电子能量分布的一种装置，其作用是探测样品发射出来的不同能量电子的相对强度，半球形分析和筒镜形分析器是最常用的 ;半球形电子???量分析器 ;筒镜形电子能量分析器 ;检测器：对这种微弱的信号必须采用脉冲计数的方法即用电子倍增器来计数主要有两种类型：单通道电子倍增器 多通道电子检测器 数据处理系统： 电脑;XPS的应用;应用范围;实例;;材料表面不同元素之间的定量 方法 对试样做XPS分析，得到窄区谱。 根据峰面积和灵敏度因子，利用公式计算各元素的相对含量。 功能陶瓷中Ti, Pb, La的相对含量