多晶硅用氢气中痕量磷杂质的测定气相色谱法.pdfVIP

《多晶硅用氢气中痕量磷杂质的测定 气相色谱法》 （讨论稿）编制说明 一、工作简况 1 项目背景和立项意义 随着行业内多晶硅质量的不断提升，生产系统对于各种物料的质量波动变得尤为 敏感。其中的主要生产原料氢气的质量更是直接制约多晶硅内在质量的主要因素之一。 磷作为多晶硅中的主要施主杂质，其含量的高低直接影响到多晶硅品质，氢气是 多晶硅生产中主要的和用量最大的原料之一，氢气中的磷杂质含量会带入到多晶硅中， 目前氢气质量的检测主要依据 GB/T 16942-2009 《电子工业用气体 氢》和 GB/T 3634.2-2011 《氢气第 2 部分：纯氢、高纯氢和超纯氢》进行质量控制，控制项目是 氮、氩、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、总烃、水分等杂质含量，没有对磷杂质进 行控制，也无相关检测方法，随着半导体和光伏行业对多晶硅的要求越来越高，为提 升多晶硅品质，急需建立一种氢气中磷杂质含量的检测方法。 目前国内外多家多晶硅生产企业都是采用改良西门子法生产多晶硅，产品中的磷 杂质的主要来源主要有氯硅烷和氢气，准确检测氢气中的磷含量，为生产控制提供数 据支持，对提升多晶硅产品质量有重要的意义。 2 任务来源 根据《中国有色金属工业协会关于下达2018年第一批协会标准制修订计划的通知》 （中色协科字（2016）178 号）的要求，《多晶硅用氢气中痕量磷杂质的测定》由宜昌 南玻硅材料有限公司牵头负责起草，计划编号：2018-027-T/CNIA，要求于 2019 年完 成。 3 标准项目编制单位简况 宜昌南玻硅材料有限公司于2006年8 月成立，位于宜昌高新区猇亭园区，占地1500 亩，累计投资近40 亿元，隶属于中国南玻集团太阳能事业部，是一家专业从事高纯多 晶硅、高效硅片、纳米白炭黑、石英坩埚生产的大型制造企业。公司目前已经形成了 年产10000 吨高纯多晶硅、1.8GW 高效硅片、20000 只石英坩埚，以及综合利用多晶硅 尾气残液年产3400 吨纳米白炭黑的生产能力。 宜昌南玻硅材料有限公司检测中心于 2016 年 1 月组件成立，隶属于宜昌南玻硅 材料有限公司，并由宜昌南玻硅材料有限公司于 2016 年1 月授权成立的第一方检测机 构。本检测中心下设物理检测、化学检测、白炭黑检测等，专业从事硅材料相关产品 的检测业务。 宜昌南玻始终秉持节能、环保和以人为本的理念，为建设资源节约、环境友好型 社会贡献者自己的力量，“利用绿色能源，创造绿色未来”是我们永恒的追求。 4 主要工作过程 2018年3月，接到行业标准制定计划任务后，在全国有色金属标准化技术委员 的组织下，宜昌南玻硅材料有限公司成立了《多晶硅用氢气中痕量磷杂质的测定》协 会标准编制组，确定了编制组成员的任务分工和实验计划。编制组开展了相关国内外 资料、标准的整理和研讨，和国内其他厂家检测氢气中磷杂质的方法展开讨论，为标 准修订提供技术支持。并组织相关技术人员进行了大量多晶硅用氢气中痕量磷杂质的 测定方法的实验工作，实验中考虑到多晶硅用氢气纯度高，磷杂质含量小的原因，采 用变温浓缩装置对样品进行浓缩富集后引入气相色谱仪进行检测，根据实验情况，编 制组初步制定了该标准所涉及的适用范围、方法检出限及主要检测方法，于2018年5 月完成标准的初步制定工作。2018年5月，编制组组织技术人员进行了方法的检出限、 数据的重现性以及浓缩线性等实验，实验结果基本满意。 2018年5月编制完成《多多晶硅用氢气中痕量磷杂质的测定气相色谱法》讨论稿， 并发行业内相关单位征求意见。 4.1 标准的任务落实 2018 年 05 月，在上海市召开的标准工作会上就《多晶硅用氢气中痕量磷杂质的 测定 气相色谱法》标准进行了任务落实。 4.2 标准的方法验证 宜昌南玻硅材料有限公司自2018年5月开始开展多晶硅用氢气中痕量磷杂质的测 定方法验证工作。通过第一阶段的试验，确定了气相色谱最佳仪器条件。 2016年5月起开展第二阶段的试验，开展该方法的不同浓缩体积浓缩试验。样品 -6 来源：磷化氢标准气体：（0.1×10 （V/V)）平衡气氢气。 4.2.1 1mL定量环磷化氢标准气体测得的峰面积及重复性： 表一 1mL标准气的实验数据