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超导纳米线单光子探测器 物 理 学 报 Acta Phys. Sin. Vol. 60，No. 3 (2011) 038501 超导纳米线单光子探测器 张蜡宝 康 琳 陈 健 赵清源 郏 涛 许伟伟 曹春海 金飚兵 吴培亨 ( 南京大学电子科学与工程学院超导电子学研究所 ，南京 210093 ) (2010 年 5 月 15 日收到;2010 年 6 月 6 日收到修改稿) 利用磁控溅射、电子束光刻和反应离子刻蚀等微加工技术，开展了超导纳米 线 单 光 子 探 测 器 ( SNSPD) 的 研 究. 成 制 通过对 SNSPD 的设计 和 制 备 工 艺 参 数 的 优 化， 功 制 备 出 了 高 质 量 的 SNSPD. 单 光 子 检 测 实 验 表 明， 备 的 SNSPD 对 660 nm 波长的光信号，系统检测效率可达 30 ， 1550 nm 波 长 光 信 号， 大 系 统 检 测 效 率 为 4. 2 . 在 对 最 平均暗计数小于 10 c / s 的情况下，系统检测效率大于 20 (660 nm) 和 3 (1550 nm) . 关键词: 单光子，氮化铌，纳米线，探测器 PACS: 85. 25. Pb，07. 57. Kp，85. 60. Gz，03. 67. Hk 目 前 的 SNSPD 主 要 采 用 3—6 nm 的 高 质 量1. 引 言 NbN 外延薄膜，用微加 工 手 段 将 薄 膜 刻 蚀 成 曲 折 线 结构，NbN 纳 米 线 宽 度 一 般 在 100 nm 左 右. SNSPD 纳 米 线 单 光 子 探 测 器 ( Superconducting 工作在 1. 4—4. 2 K 的温超 导 度，偏置在略低于临界电流Nanowire Single Photon Detector，SNSPD) 是一种利用 超 的状态. 在 没 有 光 子 入 射 时， 导 纳 米 条 处 于 超 导超导 纳 米 膜 条 进 行 光 子 检 测 的 高 灵 敏 光 子 探 测 当 吸 态， 光 子 被 NbN 膜 条 吸 收， 收 光 子 处 形 成 一 个器 〔〕 1 . 与 现 有 商 用 单 光 子 探 测 比〔2—5〕，SNSPD 器 短暂的电阻 态， 件 两 端 有 一 个 电 压 脉 冲 器 相 输 出. 通具有暗计数低、 应 频 谱 宽、 复 速 度 快 等 特 点， 响 重 因 过对这个 电 压 脉 冲 信 号 的 计 数 实 现 对 入 射 光 子 的此在量子 信 息 〔 ， 光 子 源 表 征〔12， ， 成 电 路 6—11 〕 单 13〕 集 检测. 〔 高 SNSPD 芯片的制备 工 艺 复 杂， 质 量 超 薄 NbN检测 ， 速 光 通 讯〔15 〕和 分 子 荧 光 检 测〔16〕等 领 域 14〕 高 薄膜的制备技术是 SNSPD 的基础. 目前能够独立制具有重要的应用价值. 备 SNSPD 芯片的研究组寥寥可数. 莫斯科师范大学 1990 年，Kadin 等人〔17〕提 出 利 用 吸 收 光 子 后 在 是最 早 开 展 SNSPD 实 验 研 究 的 小 组， 术 最 为 成 技二 维 超 导 体 上 形 成 的 涡 旋-反 涡 旋 对 ( vortex- 熟. 他们 已 向 多 个 国 家 的 研 究 小 组 提 供 探 测 器 芯antivortex pairs，VAP) 来检测红外光子的思想. 基于 〔 〕 18 美 片. 另外还 有 日 本 NICT， 国 NIST 和 MIT 等. 南 京这 个 思 想，Gupta 等 人 提 出 氮 化 铌 ( niobium 从 大学超导电 子 学 研 究 所， 2007 年 开 始 SNSPD 的nitride，NbN ) 薄 膜 条 纹 的 单 光 子 探 测 器 模 型. 实验研究，已经研制 出 从 可 见 光 到 中 红 外 波 段 的 单Semenov 等人〔19 〕提 出 给 NbN 薄 膜 条 加 一 个 偏 置 电 其 时 光子探测器， 探 测 效 率、 间 抖 动 等 主 要 性 能 指流以辅助 超 导 态 的 临 界 转 变 进 而 实 现 对 单 光 子 的 标达到了国际主流水平. 〔〕 1检测. Goltsman 等人 设计了 NbN 超导纳米条的单 本文中，我们介绍利用 NbN 超薄超导薄膜 设 计 长光子探测实验. 他们利用宽 200 nm， 1 μm 的超导 和制备 SNSPD 的工艺技术，SNSPD 器件的筛选方法NbN 薄膜条，实现了对波长为 810 nm 的单光子信号 和 SNSPD 的性能评价指标. 〔 〕 20的检测. 该研 究 小 组 将 通 过 改 进 器 件 结 构