第七章 气相沉积技术.pptVIP

* 二、CVD的应用 3.半导体光电技术 半导体光电技术包括半导体光源、光接受、光波 导、集成光路及光导纤维等一系列基础理论和应用 技术的边缘学科。CVD法可以制备半导体激光器、 半导体发光器件、光接受器和光集成光路等。如集 成电路是采用低温气相沉积技制备的，应用氢化 物、金属有机化合物为源的沉积方法，在绝缘的透 明衬底上（如蓝宝石、尖晶石等）通过异质外延生 长Ⅳ族、Ⅲ—Ⅵ族化合物材料及其组合的集成化材 料。 第七章 气相沉积技术 * 二、CVD的应用 4.太阳能利用 利用无机材料的光电转换功能制成太阳能电池是 太阳能利用的一个重要途径。现已试制成功硅、砷 化镓同质结电池以及利用Ⅲ—Ⅴ族、Ⅱ一Ⅵ族等半 导体制成了多种异质结太阳能电池，如 SiO2/Si， GaAs/GaAlAs等，它们几乎全制成薄膜形式。气相 沉积是最主要的制备技术。 第七章 气相沉积技术 * 二、CVD的应用 5.光纤通信 光纤通信由于其容量大、抗电磁干扰、体积小、对 地形适应性高、保密性高以及制造成本低等优点， 因此得到迅速发展。通信用的光导纤维是用化学气 相沉积技术制得的石英玻璃棒经烧结拉制而成的。 利用高纯四氯化硅和氧气可以很方便地沉积出高纯 石英玻璃。 * 二、CVD的应用 6.超电导技术 化学气相沉积生产的Nb3Sn超导材料是 目前绕制高场强小型磁体的最优良材料。 化学气相沉积