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Ledit及器件版图设计 ppt课件 2021/3/26 Ledit及器件版图设计 ppt课件 Ledit及器件版图设计 derivation工具栏：推导产生图层 Draw和derived：选择该图层是由绘制产生还是由已有图层逻辑运算产生。 2021/3/26 Ledit及器件版图设计 ppt课件 Ledit及器件版图设计 Rendering工具栏：设置产生图层的显示特性。包括object, port box, wire centerline的设置。一般只设置object。 2021/3/26 Ledit及器件版图设计 ppt课件 Ledit及器件版图设计 Mode：绘图模式。包括add（加），subtract（减），paint（涂色）。表示和其它图层的逻辑关系。Pass表示第几次绘制。 Fill和outline：表示填充和轮廓线的颜色和花纹的设置。 2021/3/26 Ledit及器件版图设计 ppt课件 Ledit及器件版图设计 国内设计多为逆向，但也需要根据市场需求做适当改变，所以绘制版图前首先必须完成符合项目需求的元胞及其工艺的仿真验证，确定基本的元胞参数和工艺步骤，为绘制确定条件。其次，需要和生产厂商确定设计规则和工艺限制条件，使版图的绘制有据可依。 下面以某种场效应器件版图为例说明 2021/3/26 Ledit及器件版图设计 ppt课件 Ledit及器件版图设计 元胞的设计： 元胞的形状分为很多种，包括方形，六角形，八角形，条形，蛇形等等，每种都有自己的优势。一般将单位面积上实现的沟道宽度来作为一种衡量元胞设计的优值。不过不同元胞设计的优值差距很小，一般来讲，侧重可靠性的就采用优值相对较小的设计（比如条形元胞），侧重功率应用的就采用利用率较大的元胞设计（比如六角和八角形）。 2021/3/26 Ledit及器件版图设计 ppt课件 Ledit及器件版图设计 八角形元胞照片实例（Silicon power thyristor) 2021/3/26 Ledit及器件版图设计 ppt课件 Ledit及器件版图设计 条形元胞实例（Fairchild NPT IGBT ) 2021/3/26 Ledit及器件版图设计 ppt课件 Ledit及器件版图设计 规则：厂商给定的使其能顺利完成工艺步骤的版图规定 2021/3/26 Ledit及器件版图设计 ppt课件 Ledit及器件版图设计 a:阱的最小宽度 b:不同电位的阱间距 c:相同电位的阱间距 d:阱对有源区的最小覆盖 e:阱外有源区和阱的间距 2021/3/26 Ledit及器件版图设计 ppt课件 Ledit及器件版图设计 a:有源区的最小宽度 b:沟道最小宽度 c:有源区间距 2021/3/26 Ledit及器件版图设计 ppt课件 Ledit及器件版图设计 a:接触的最小宽度 b:接触孔间距 c:有源区和孔间距 d:多晶和孔间距 2021/3/26 Ledit及器件版图设计 ppt课件 Ledit及器件版图设计 L-edit用文件（file），单元（cell）等来描绘版图设计，一个文件由一个或多个单元组成。对图层数，单元数以及等级数都没有限制，包括了基本所有度数和任意多边形的