活性焊料与石英玻璃低温活性焊接机理的研究.docx

活性焊料与石英玻璃低温活性焊接机理的研究 摘 要 　　石英玻璃是一种只含二氧化硅单一成分的特种玻璃，因为其物理性能优秀，化学性能稳定，被广泛应用于光电 子器件和半导体的各项工艺中。但石英玻璃和金属材料进行钎焊时其两者湿润性较差，不适合直接钎焊，利用含有 活性元素如Ti，Ni等的钎料进行活性焊接，可以改善金属钎料在SiO2表面的湿润铺展，并使其紧密结合。论文研究 了活性焊料BiSnAgTi(Ce,Ga)中活性元素Ti在钎焊石英玻璃基板中的作用，其主要内容如下： 　　本文探究了活性焊料BiSnAgTi(Ce,Ga)中活性元素Ti在钎焊石英玻璃基板中的作用。在290℃的环境下进行了石 英玻璃与低温