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（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
10）申请公布号
CN109557641A
43）申请公布日 2019.04.02
（21）申请号CN201811635995.3
（22）申请日2018.12.29
（71）申请人苏州源卓光电科技有限公司
地址 215000江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室
（72）发明人张柯;张雷;李伟成
（74）专利代理机构苏州国诚专利代理有限公司
代理人 陈松
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种双远心投影光刻镜头
（57）摘要
本发明提供了一种双远心投影光刻镜头，
其设计合理，具有高远心度、低畸变的特点，适
用于长工作距离的场景,包括从物方至像方依次设
置的前透镜群组、光阑、后透镜群组；所述前透
镜群组包括从物方至像方依次设置的：第一透
镜，具有正光焦度；第二透镜，具有负光焦度；
第三透镜，具有正光焦度；第四透镜，具有负光
焦度；第五透镜，具有负光焦度；所述后透镜群
组包括从物方至像方依次设置的：第六透镜，具
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