青海碳化硅公司成立可行性报告_范文参考.docx

泓域咨询/青海碳化硅公司成立可行性报告  青海碳化硅公司成立 可行性报告 xxx（集团）有限公司  报告说明 碳化硅用于制作功率及射频器件，产业链包括衬底制备、外延层生长、器件及下游应用。根据电化学性质不同，碳化硅晶体材料分为半绝缘型衬底（电阻率高于105Ω?cm）和导电型衬底（电阻率区间15~30mΩ?cm）。不同于传统硅基器件，碳化硅器件不可直接制作于衬底上，需先使用化学气相沉积法在衬底表面生成所需薄膜材料，即形成外延片，再进一步制成器件。通过在半绝缘型碳化硅衬底上生长氮化镓外延层制得碳化硅基氮化镓外延片，可制成HEMT等微波射频器件，适用于高频、高温工作环境，主要应用于5G通信、卫