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集成电路制造技术原理与工艺[王蔚][习题答案(第2单元).pdfVIP

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  • 2022-04-07 发布于江苏
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集成电路制造技术原理与工艺[王蔚][习题答案(第2单元).pdf

    第二单元习题解答 1. SiO 膜网络结构特点是什么？氧和杂质在 SiO 网络结构中的作用和用途是什 2 2 么？对SiO 膜性能有哪些影响？ 2 二氧化硅的基本结构单元为 Si-O 四面体网络状结构，四面体中心为硅原子，四个顶角 上为氧原子。对 SiO 网络在结构上具备“长程无序、短程有序”的一类固态无定形体或玻 2 璃体。半导体工艺中形成和

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