《激光器件》第4章二氧化碳激光器.pptx

第4章二氧化碳激光器封离式CO2激光器结构示意图一、 CO2激光器的特点简介? 二氧化碳激光器有较大的功率和较高的能量转换效率。是目前连续输出功率较高的一种激光器。它发展较早，商业产品较为成熟，被广泛应用到材料加工、医疗使用、军事武器、环境量测等各个领域。 CO2 激光器种类很多，主要有封离型、流动(纵向和横向)型、大气压型、气动型以及波导等结构形式；激励方式有低功率器件采用的纵向气体放电激励、大功率器件采用的横向气体放电激励、射频激励、化学、气动、电子束激励等。 CO2激光器的输出特性有两个显著的特点:(1)输出功率或能量相当大，能量转换效率高。 CO2 激光器连续输出功率可达数百KW，是所有激光器中连续输出功率最高的器件；脉冲输出能量可达数十KJ；脉宽可压缩到ns量级；脉冲功率密度可达TW量级。(2) 输出波长分布在9～18μm波段，已观察到的激光谱线200多条。 其中，9～11μm红外波段中最重要的输出波长10.6μm，处于大气传输的窗口，有利于激光测距、激光制导、大气通信等方面的应用，且该波长对人眼安全。 CO2 激光器于1964年问世。CO2激光器的优点CO2激光具有波段优势，工作波长10.6um恰好处于大气长波红外窗口范围，受环境因素的影响较小，可以全天候工作；在能见度低的恶劣战场条件（烟尘、烟雾、雨天、人工烟雾等）下，其透明度大大高于1.06um固体Nd+3:YAG激光器；在战场条件下，传输10km时，10.6um激光传输衰减比1.06um激光低20dB；CO2激光可对散射截面小的弱目标尤其是红外隐身目标进行有效探测，具有极高的灵敏度；与8~14um的热成像系统具有很好的兼容性，容易实现主、被动复合制导； CO2激光波长处在人眼安全波长限之上，在中小功率照射下，不会伤损人的视网膜。CO2激光器的应用低功率（200W） 主要为电子工业（如电阻制造、IC标志）、非金属加工业（竹木雕、服饰、制鞋、饰品制造等）和部份医疗和研究单位所使用。中高功率(200-1600W) ??木刀模业，各种机器零部件切割，汽车钣金切割?，计算机、电气机壳的钣金切割，特殊材料切割。高功率（1600W）? 主要被应用在金属焊接和表面处理上，在工业先进国家已逐渐被国防、汽车和航天工业里一些特殊领域所采用。CO2激光器的激励方式按照激励方式，可分为直流激励、交流高频激励、射频激励和微波激励。从70 年代末开始，国外进行了高频（HF）、射频（RF）、微波（MW）激励工业用CO2 激光器的研究。高频激励或称无声放电（SD）高功率CO2 激光器，激励频率为100~200 kHz，获得了1~5 kW 的激光功率。射频激励恒流CO2 激光器已获得1~10kW 的功率输出，最大功率有望达到100kW。德国90 年代发展的8kW 的振荡器-放大器系统，使用频率为2.45GHz 的微波激励。直流激励由于输出功率大、技术简单、成本低等因素，第一代工业用CO2 激光器使用直流激励，现在它仍占据着最大的市场。随着半导体和电子技术的迅猛发展，CO2激光器直流激励电源也随之由低频工作方式向高频工作方式的方向发展，从简单的串联线性调整电源到可控硅中频电源, 发展到高频高效开关电源。直流激励高频开关电源替代低频电源是激光工业发展的必然趋势。直流激励激光器虽然应用广泛，但存在着以下缺点：（1）镇流电阻要消耗1/3~1/4 的能量，光电转换效率低（2）放电的不稳定性，限制了注入功率密度的提高；（3）电源功率因数低，不利于节能；（4）很难做到连续－脉冲运行转换，无法满足高性能激光加工的要求；（5） 放电电压太高，给更高频率的高压电源的研制带来困难。交流高频激励为了改善CO2 激光器的性能，克服直流激励存在的缺点，提出了交流高频放电CO2 激光器技术。高频放电频率通常在几十~几百kHz，其电路可采用晶体管和高频变压器组成逆变开关电源。 实验表明，采用高频放电激励提高了放电的稳定性，在没有任何匹配措施，也没有加任何镇流电阻的情况下，获得了大面积均匀稳定的辉光放电。而全晶体管化的电源减小了体积，意味着这种放电激励技术具有提高输出功率的潜力，从而为CO2 激光器的小型化研究提供了新的途径。射频激励 射频激励是CO2 气体激光技术发展的新方向，由于具有完全独特的优势，近20 年来得到了迅速的发展。突出优点：射频气体放电具有正向伏安特性，可实现持续放电，电能利用率高；放电稳定，可实现大面积均匀放电；注入功率密度高，器件的体积大为缩小；工作电压低，有利于提高器件寿命，并且使用安全；射频波可实现高频幅度调制，输出光功率的控制程度高；能灵活地实现从连续到脉冲的转换以及脉宽和脉冲频率的调节。Output power 1 - 6 kWDC 060 W激光头组成 I电气单元激光输出气瓶谐振腔ROFIN DC