磁控溅射和电弧离子镀技术和应用介绍.pdfVIP

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  • 2022-04-15 发布于重庆
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磁控溅射和电弧离子镀技术和应用介绍.pdf

薄膜/涂层制备技术 (磁控溅射和电弧离子镀)及应用 雷 浩 薄膜薄膜//涂层涂层的概念与特点的概念与特点  概念:薄膜/涂层是一类用特殊方法获得的,依 靠基体支撑并具有与基体不同的结构和性能的靠基体支撑并具有与基体不同的结构和性能的 二维材料。薄膜(Films) :厚度 1m,如光电功 能薄膜等能薄膜等;;涂层涂层(Coatings)(Coatings) ::厚度厚度≥≥

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