集成电路工艺气体流量测量系统的设计.docxVIP

PAGE III 集成电路工艺气体流量测量系统的设计 摘 要 目前，大多数气体流量测量均是通过传统的测量仪器进行测量，但是传统的测量存在很多弊端。例如，测量计硬件价格昂贵，测量步骤繁琐，容易出错，遇到有毒的气体会对测量人员带来危害。LabVIEW是一个图形编程平台，与C语言有一定的共性。通过对LabVIEW编程，可以达到想要使用的功能，这样就能尽可能避免传统仪器的不足，进而实现计算机测量[1]。 本课题利用计算机可以实现对仪器设备的控制与参数的设定和数据采集、显示、储存、处理、历史查看等功能，通过LabVIEW设计气体流量测量的虚拟平台。本文重点介绍了如何对LabVIEW进行编程