泓域咨询/石英玻璃制品项目资金申请报告
石英玻璃制品项目
资金申请报告
xx投资管理公司
报告说明
高端石英制品不仅从外形尺寸、产品精度上严格于普通产品,尤其是在产品洁净度上有着严苛的标准,比如高精度的立式石英舟产品,洁净度超标会直接影响到氧化扩散后晶圆表面涨膜的厚度和均匀度,产品洁净度是扩散炉等重要机台关键的验证项目之一,而国产石英舟主要的技术问题在于金属离子超标,从而造成晶圆在制造过程中受到金属离子的污染,导致晶圆良率降低或者报废。国产石英零部件难以达到半导体工艺的高纯度要求,也是进入本行业的技术壁垒之一。
根据谨慎财务估算,项目总投资18347.19万元,其中:建设投资148
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