微加速度计的基本工作原理及工作特点.ppt

压阻式微加速度计是由悬臂梁和质量块以及布置在梁上的压阻组成, 横梁和质量块常为硅材料。当悬臂梁发生变形时, 其固定端一侧变形量最大, 故压阻薄膜 材料就被布置在悬臂梁固定端一侧( 如图2 所示) 。当有加速度输入时, 悬臂梁在质量块受到的惯性力牵引下发生变形, 导致固连的压阻膜也随之发生变形, 其电阻值就会由于压阻效应而发生变化, 导致压阻两端的检测电压值发生变化, 从而可以通过确定的数学模型推导出输入加速度与输出电压值的关系。 * * * * * * 微加速度计的 基本工作原理及工作特点 田源木 2620120007 2012.11.17 目录 1、微加速度计简介 2、微加速度计分类 3、基本工作原理及工作特点 4、总结 目录 1、微加速度计简介 2、微加速度计分类 3、基本工作原理及工作特点 4、总结 微加速度计简介 MEMS 器件 传感器 执行器 微加速度计 测量加速度 信号感知 信号转变 信号输出 偏置稳定性1mg，标度因数稳定性1000pm 微加速度计简介 微加速度计 MEMS技术的突出成果 民用领域 军事领域 汽车领域 汽车碰撞检测 安全气囊 战术武器 低成本，中低精度 目录 1、微加速度计简介 2、微加速度计分类 3、基本工作原理及工作特点 4、总结 微加速度计分类 分类方式多种多样 有无反馈信号： 微型开环加速度计 微型闭环加速