太阳能电池片扩散工艺.docxVIP

扩散工艺培训 一、扩散目的 在P型衬底上扩散N型杂质形成PN结。达到合适的掺杂浓度p/方块电阻R。 即获得适合太阳能电池PN结需要的结深和扩散层方块电阻。 口 R的定义：一个均匀导体的立方体电阻，长L,宽W,厚d R=p L / d W =（P /d） （l/w）此薄层的电阻与（L / W ）成正比，比例系数为（p /d）。这个比例系数 叫做方块电阻，用R□表示： R = p / d R = R^（L / W） 二、太阳电池磷扩散方法 1、三氯氧磷（POC1 ）液态源扩散（本公司现在采用的方法） 2、喷涂磷酸水溶液3后链式扩散 3、丝网印刷磷浆料后链式扩散 三、磷扩散的基本原理 TOC \o