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泓域咨询/东莞半导体清洗设备项目可行性研究报告
报告说明
除了受益于半导体行业景气周期上行,半导体工艺升级也将为清洗设备带来新增长机遇,随着芯片先进制程的进步以及芯片结构的复杂化,清洗设备市场有望量价提升。随着半导体技术的不断进步,半导体器件集成度不断提高,清洗的步骤大幅提高。90nm的芯片清洗工艺约90道,到了20nm清洗工艺达到215道。随着芯片进入16nm以及7nm以下,清洗工艺的道数将会加速增长。另一方面半导体晶圆的尺寸却不断扩大,主流晶圆尺寸已经从4英寸、6英寸,发展到现阶段的8英寸、12英寸。此外,半导体器件的结构也趋于复杂。例如存储器领域的NAND闪存,根据国际半导体技术路线图
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