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泓域咨询/唐山半导体清洗设备项目可行性研究报告
目录 TOC \o 1-3 \h \z \u
第一章 行业、市场分析 7
一、 日系厂商领跑清洗设备,国内厂商替代进展顺利 7
二、 湿法清洗是主流清洗技术路线 8
第二章 项目概况 12
一、 项目名称及项目单位 12
二、 项目建设地点 12
三、 可行性研究范围 12
四、 编制依据和技术原则 13
五、 建设背景、规模 14
六、 项目建设进度 14
七、 环境影响 15
八、 建设投资估算 15
九、 项目主要技术经济指标 15
主要经济指标一览表
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