大物实验高真空的和检漏程.pdfVIP

高真空的获得和检漏 007 系 07 级 程雅苹 P 实验目的： 1、用机械泵、扩散泵机组获得高真空 2 、用静态升压法和氦质谱法检漏，并对比两种方法的特点. 实验原理： 1、 高真空的测量——电离真空规 具有足够能量的电子与气体 碰撞会引起 的电离.产生正离子和电 子，电子与 的碰撞次数正比于 数密度n,即正比于总压强p，故产生的正 ＋ 离子数N 正比于压强p.规管的结构如图2.6.3-l所示,它主要由发射电子的热阴 极（灯丝）、 并收集电子的 极和收集离子的收集极等三部分组成.其接线 图如图2.6.3－2 所示,规管中心热阴极F 接零电位,为U 为热阴极加 K 热电压； 极 G 接正电位 U （几百伏）;离子收集极接负电位 U （几十伏）, G C 其作用是使由阴极F 发射的电子,在