高压烧结在立方氮化硼中的应用.pptVIP

——高压烧结在立方氮化硼中的应用 第1页，共20页，编辑于2022年，星期四 1、引言 1957年，美国GE公司首先用高温高压法合成了cBN。 cBN具有高的硬度（仅次于金刚石）、宽带隙、高稳定性和高阻抗等特点，使其具有广泛的应用前景。 使用高温高压法合成的cBN刀具、磨料已应用于材料的高速精密加工；用cBN晶体已经制成了高温二极管和紫外发光管等。 第2页，共20页，编辑于2022年，星期四 1、引言 CBN磨具 CBN刀具 CBN晶体 第3页，共20页，编辑于2022年，星期四 2、cBN简介 立方氮化硼（cBN）属于面心立方晶系 具有闪锌矿晶体结构 在[111]方向上，原子层以ABCABC方式排列 B，N原子间以sp3杂化方式成键。 第4页，共20页，编辑于2022年，星期四 2、cBN简介 由于cBN优异的性能 通常把cBN和金刚石 的性质进行比较 第5页，共20页，编辑于2022年，星期四 2、cBN简介 cBN具有许多优异的特性： 1、仅次于金刚石的高硬度 超硬保护涂层、刀具材料 2、热导率高和热稳定性好 3、高温下抗氧化性能强（1300℃以下不易氧化） 4、光谱透过率高 光学元件的涂层、光学窗口材料、紫外发光二极管 5、半导体特性好 高温、大功率、抗辐射的电子器件； 6、电学特性好 场发射材料、封装冷阴极电子场发射器件 7、良好的绝缘性 第6页，共20页，编辑于2022年，星期四 3、cBN的制备方法 1957年Wentorf用合成金刚石的装置，用镁作触媒，与hBN混合，经高温（1400℃以上）高压（6×109Pa）处理后，在镁的周围发生反应并出现硬块，经衍射看到硬块具有与金刚石类似的图样，确定为立方型BN（简称cBN）。 ——静态高压触媒法 静态高 第7页，共20页，编辑于2022年，星期四 3、cBN的制备方法 静态高压触媒法 静态高压下直接转变法 晶种—温度梯度法 爆炸法（加或不加介质） 气相法 工业生产cBN 最主要的方法 第8页，共20页，编辑于2022年，星期四 4、CBN制备的高压设备介绍 六面顶压机具有操作方便、压力均匀等优点 从60年代起一直是我国合成超硬材料的主流设备 它采用油压系统推动顶砧运动，并予施压和保压，而且在其压力容限内，可对施加的压力进行调整。 第9页，共20页，编辑于2022年，星期四 4、CBN制备的高压设备介绍 日本OhSawa公司生产的六面高温高压烧结机 第10页，共20页，编辑于2022年，星期四 4、CBN制备的高压设备介绍 与国外相比，国产六面顶压机顶锤有特殊设计——存在顶锤导角（41°） 利于密封边的形成，进行快速地升压和降压，使cBN合成周期短，有效利用时间长 压力损耗加大，造成液压系统压力较高 第11页，共20页，编辑于2022年，星期四 4、CBN制备的高压设备介绍 （1）压力控制系统——适应高压要求 超高压液压泵，进行无限期的补压和保压 精密压力传感器，提高压力控制精度以及实现反馈信号采集 回程油路加装管式背压阀，使活塞在运行中行走平稳 液控系统回路中蓄能器，缓冲油压 第12页，共20页，编辑于2022年，星期四 4、CBN制备的高压设备介绍 （2）温度控制系统 温度的控制是通过标定加热功率和腔体内部温度的对应关系 只要内部腔体的材质稳定不变，那么在1500℃时，温度的控制系统可以达到±10℃，相对控制精度为1.0％。 第13页，共20页，编辑于2022年，星期四 4、CBN制备的高压设备介绍 （3）温度和压力的标定 高温高压下很难进行温度和压力的原位检测 只能用间接办法进行温度和压力的标定——采用恒功率加热，通过实际投入功率的大小来标定腔体内的温度。测温时用AB热电偶测量腔体中心的温度，热电偶连接顶锤的示意图如图2.3所示。 第14页，共20页，编辑于2022年，星期四 ——高压烧结在立方氮化硼中的应用