四探针一体机使用说明书.docxVIP

1 SZT-2A 四探针测试仪 使用说明书 一概述 SZT-2A 型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途 综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或 柱状半导体材料的径向和轴向电阻率， 测量扩散层的薄层电阻 (亦称 方块电阻)。四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外 还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的 中，低阻阻值。 仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示， 同时，液晶显示器还显示测量类型(电阻率，方块电阻和电阻)以及 探头修正系数， 主机由开关电源， DC/DC 变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳 定度恒流源，和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路，所 以仪器可靠性高，测量稳定性好。 测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针， 定位准确，游移率小， 使用寿命长。 仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半 导体材料电阻性能的测试。 本仪器工作条件为： 温 度： 23℃ ±3℃ 相 对 湿 度： 50%~70% 2 工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源。 二，技术参数 1， 测量范围 电阻率： 10??-105?-cm 方块电阻 10??- 105?/□ 电阻 10- - 105 ? 2，可测半导体材尺寸 直