广东省电子元件制造业挥发性有机物综合整治技术指南.pdfVIP

广东省电子元件制造业挥发性有机物 综合整治技术指南 二〇二二年六月 目 次 前言II 1 范围1 2 规范性引用文件1 3 术语和定义2 4 行业生产与VOCs 污染的产生3 5 污染预防技术11 6 过程控制技术11 7 末端治理13 8 环境管理13 I II 1 范围 本指南规定了电子元件制造业挥发性有机物综合整治技术指南。 本指南适用于电子元器件制造企业 （包括电子器件制造和电子元件及电子专用材料制造）挥 发性有机物（VOCs ）排放控制相关技术要求，其中电子器件制造包括电子真空器件制造（3971）、 半导体分立器件制造 （ ）、集成电路制造 （ ）、显示器件制造 （ ）、半导体照明 3972