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会计学 1 电子分析物理基础 2 第二章 电子束分析 物理基础 2学时 透射电镜 4学时 扫描电镜 2学时 X射线光电子能谱 2学时 俄歇电子能谱 2学时 第1页/共62页 3 目录 历史背景 电子产生 电子控制：电子光学 电子与固态物质的相互作用 电子探测 第2页/共62页 4 历史背景 1897年，汤姆逊发现电子。 1925年，德布罗意提出里电子的波动性。 1931年鲁斯卡发明创制了第一台透射电子显微镜，并拍摄了金和铜的表面图像，其放大倍数17倍。 （1939年，西门子公司生产出分辨本领优于10nm的商品电子显微镜） 1935年德国人Knoll提出扫描电镜原理。 （1965年商品扫描电镜） 60年代开始超高压TEM。 第3页/共62页 5 电子的波长 第4页/共62页 6 加速电压与电子波长的关系 V (kV) (nm) V (kV) (nm) 1 0.0388 80 0.00418 10 0.0122 100 0.00370 20 0.00859 200 0.00251 30 0.00698 500 0.00142 50 0.00536 1000 0.00087 第5页/共62页 7 目录 历史背景 电子产生 电子光学 电子与固态物质的相互作用 探测器 第6页/共62页 8 电子产生 热（2700K）激发电子, 阴极射线 （电压）场激发电子 热电子和场电子主要用于电镜的电子源 光（激发）电子 光电子主要用于光电子分析的探测信号 电子激发电子 详见电子与固态物质的相互作用 第7页/共62页 9 热电子电子枪 加热灯丝(W灯丝)或晶体(LaB6), 在灯丝尖端产生电子云 使用带有光阑的阳极吸引电子, 并加速, 形成电子束 特征: 电子云直径(发射源直径)大, 需要大的聚焦 电子能量分布(色差)较大 低加速电压时, 光阑遮挡了大量电子, 有效束流很小 第8页/共62页 10 场发射电子枪 使用强电场直接将电子从灯丝尖端拉出 特征: 发射源直径即灯丝尖端直径, 比W灯丝小103量级. 因此要求的聚焦倍数小. 电子能量分布(色差)非常小. 电子束亮度大, 比W灯丝大 103量级. 因此可以实现更小的成象束斑和低加速电压下成象. W/ZrO2 发射极 阳极 (提取极) 第9页/共62页 11 场发射电子枪 冷场发射枪：阴极为单晶钨丝，尖端半径约100nm，阴极尖附近的电场可达103V/um, 不必加热可发射电子。 Schottky（肖特基）场发射电子枪：阴极为ZrO/W，工作时需要加热到1800K。 第10页/共62页 12 电子枪特性比较 灯丝材料 钨丝 LaB6晶体 钨丝 钨丝表面镀ZrO2 工作温度 2700K 2000K 300K 1800K 尖端半径 ~100um ~10um 0.1um ~0.5um (虚拟)发射源直径 ~104nm ~104nm ~3nm ~20nm 阳极电场 很小 104V/cm 107~108V/cm 106~107V/cm W灯丝 LaB6灯丝 冷场 Schottky 第11页/共62页 13 电子枪特性比较 亮度 105 106 107~109 5x108 1nm束斑电流 0.1 pA 1 pA 100~1000 pA 500 pA 最大束流 1000 nA 1000 nA 3 nA 300 nA 能量分辨率(最小) 1.5 eV 0.8 eV 0.26 eV 0.30 eV 能量分辨率(3nA束流) 2.0 eV 1.0 eV 0.7 eV 0.5 eV Flashing Never Never Every few Hours Never W灯丝 LaB6灯丝 冷场 Schottky 第12页/共62页 14 目录 历史背景 电子产生 电子控制：电子光学 电子与固态物质的相互作用 探测器 第13页/共62页 15 几何光学 透镜使光线聚焦 旋转对称面 焦点、焦距、物距、像距 电子光学 电磁透镜（电场和磁场） 旋转对称的电场或磁场产生的等位面 焦点、焦距、物距、像距 聚焦 折射面 光学参量 第14页/共62页 16 电子在静电场中的运动 电场对电子作用力的方向总是沿着电子所处的等电位面的法线，从低电位指向高电位 电子沿等电位面切线方向电场力的分量为零，即 v1sin  =v2sin 电子在等电位面的折射 第15页/共62页 17 电子在静电场中的运动 因为：v=(2eV/m)1/2 v1sin  =v2sin 所以有： sin  /sin =(V2/V1)1/2=n n—折射率 电场中等电位面是对电子折射率相同的表面； 当电子由低电位区进入高电位区时，电子的运动轨迹趋向于法线 第16页/共