纳米级--三坐标测量机--详细介绍.pdfVIP

纳米三坐标测量仪（轮廓仪、形貌仪） 德国 Klocke 公司的 Nanofinger 是一种兼具原子量级分辨率和厘米级线性行程的纳米定位与测 量系统，系统测量范围大，且具有极高的空间三维精度。可在 50mm x 50mm x20mm 的空间范围内 实现分辨率 1nm 的三維坐标测量，跨越 8 个数量级。 该设备的除涵盖一般轮廓、形貌测量设备的功能外，最突出的特点是可以进行三维高精度坐标 测量，这是其他设备无法做到的。与普通的三坐标测量相比，该设备的测量精度、分辨率要高出几 个数量级。 系统组成与测量原理： 整个 3D Nanofinger 系统由台 架、控制系统、探头、针尖组成。 系统控制单元控制探头沿样 品表面移动，以测量形貌、粗糙度、 尺寸。操作者可根据需要设定参 数，如探头移动的步长，选择、制 定自己的测试模式，以使测量长 度、速度、路径、分辨率达到最优 化。 系统的数据处理能力非常强， 可得到多种参数，包括形貌、粗糙 度、坐标尺寸等。同时，系统有自 动控制能力，可以和超精密微加 工、微组装系统组合，例如为微加 工系统提供在线检测，以随时控制 加工质量。 量程为 50X50X20mm3 的系统，带有热补偿的大理石台架。 下图显示了探头安装的两种方式：垂直或水平安装 - 3D Nanofinger 1 - Nanofinger 探头是完成测量工作 的主要部件，其核心为一个MEMS 器 件。通过它准确测量针尖和样品间的 距离，分辨精度 0.5nm 。当二者间距小 于 10nm 时，MEMS 器件监测到针尖 上信号的变化，从而感知样品的接近。