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微电子工艺
Microelectronics Processing
1
2 绪论
1. 微电子工艺是讲什么的 ？
2. 微电子工艺的发展历程如何？
3. 微电子工艺有什么特点？
4. 半导体单晶硅有什么特性？
3 1、微电子工艺是讲什么的？
就是介绍硅集成电路制造的工作、方法和技术
4 硅基微电子产品的生产过程
5 npn晶体管芯片的工艺流程
b e n+
p
n
n+
c
由5个单项工艺：按照一定的顺序排列而成
6 集成电路芯片工艺与分立器件工艺的异同
是在分立器件工艺基础上发
展起来的
同一单项工艺基本相同，但
是要求会更高
与分立器件工艺最大不同：
必须有隔离工艺
有金属布线互联系统工艺
此外，集成电路工艺更复杂。
7 2 微电子工艺的发展历程如何？
飞乐729老晶体管收音机
晶体管计算机
微电子产品的高速发展是以集成电路的进步为基础的
8 2.1 晶体管的诞生
1947年贝尔实验室发明了半导体点接触式晶体管
9 合金法制作pn结
In
P-Ge
N-Ge N-Ge
加热后再降温
10 2.2 集成电路的诞生
1958年德州仪器公司的 J.kilby研制出第一个集成电路
11 2.2 集成电路的诞生
仙童半导体公司的R. Noyce提出：用蒸发淀积金属的代替焊接
导线的方法
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