在线网课知慧《微纳加工技术（哈尔滨工大）》单元测试考核答案.docxVIP

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2022-07-06 发布于贵州
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绪论 1【单选题】(2分) 微纳加工是以平面集成加工为代表的非传统的加工方法，加工形成的部件或结构本身的尺寸在（）量级。 A.纳米 B.微米 C.微米或纳米 2.【多选题】正确答案：ABC 光刻工艺的基本要素主要包括（）。 A.对准系统 B.光源 C.光刻胶 3【单选题】(2分) 刻蚀法图形转移技术的关键刻蚀参数：（）。 A.掩膜的抗刻蚀比和刻蚀的方向性 B.掩膜的抗刻蚀比 C.刻蚀的方向性 4【判断题】间接加工技术能够绕过现有设备加工能力极限，意指直接光刻技术，其图形结构的分辨率决定于某种光刻方法的分辨率。（） A.对 B.错 5【判断题】间接加工技术就是光刻加图形转移技术。（