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泓域咨询/临沂智能检测装备项目可行性研究报告
报告说明
我国集成电路产业的快速发展驱动着集成电路X射线检测设备的需求增长。集成电路中半导体的生产流程包括晶圆制造、晶圆测试、芯片封装、封装后测试等,X射线检测可以用于晶圆的检测与封装后检测工艺中,具体如下:第一、在晶圆切割过程中,如果产生晶格错位、孪晶面、堆垛层错等情况,会造成品质问题,影响半导体材料的特性,最终影响元器件的性能。因此,半导体工业有对晶圆表面缺陷的检测需求。对晶圆的检测分为接触法和非接触法。接触法以针触法为代表,通过触针与被检表面进行接触,将被测表面的轮廓信息传递到传感器进行检测。非接触法中,X射线无损检测技术通过X射线与数字图
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