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泓域咨询/晋中机械设备项目可行性研究报告
目录 TOC \o 1-3 \h \z \u
第一章 项目建设背景及必要性分析 8
一、 离子束刻蚀 8
二、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术 8
三、 高密度等离子体刻蚀 10
四、 用好“三块金字招牌”,打开转型发展新局面 11
第二章 项目总论 13
一、 项目概述 13
二、 项目提出的理由 15
三、 项目总投资及资金构成 16
四、 资金筹措方案 16
五、 项目预期经济效益规划目标 16
六、 项目建设进度规划 17
七、 环境影响 17
八、 报告编制依
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