洛阳关于成立机械设备公司可行性报告.docx

泓域咨询/洛阳关于成立机械设备公司可行性报告  洛阳关于成立机械设备公司 可行性报告 xx有限责任公司  报告说明 电子回旋加速震荡（ECR）反应器是最早商用化的高密度等离子体反应器之一，它是1984年前后日本日立公司最早研究的，第一次使用是在20世纪80年代初。它在现代硅片制造中仍然用于0.25微米及以下尺寸图形的刻蚀。ECR反应器的一个关键是磁场平行于反应剂的流动方向，这使自由电子由于磁力作用做螺旋形运动。增加了电子碰撞的可能性，从而产生高密度的等离子体。优点在于能产生高的各向异性刻蚀图形，缺点是设备复杂度较高。 xx有限责任公司主要由xx投资管理公司和xxx有限公司共同出资成立。