年产xx套刻蚀设备项目投资决策报告.docx

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泓域咨询/年产xx套刻蚀设备项目投资决策报告 年产xx套刻蚀设备项目 投资决策报告 xxx投资管理公司 目录 TOC \o 1-3 \h \z \u 第一章 市场分析 8 一、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术 8 二、 原子层刻蚀为未来技术发展方向 9 三、 离子束刻蚀 12 第二章 项目背景、必要性 14 一、 等离子体刻蚀面临的问题 14 二、 反应离子刻蚀 14 三、 高密度等离子体刻蚀 15 四、 坚守实业,构筑现代产业强市发展新优势 16 五、 扩大开放,开拓合作共赢新局面 19 第三章 总论 23 一

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