南宁机械设备项目可行性研究报告（范文）.docx

泓域咨询/南宁机械设备项目可行性研究报告  南宁机械设备项目 可行性研究报告 xx有限公司  目录 TOC \o 1-3 \h \z \u 第一章 项目背景、必要性 8 一、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术 8 二、 反应离子刻蚀 9 三、 打造区域性高技术产业和先进制造业基地 10 第二章 行业发展分析 11 一、 等离子体刻蚀面临的问题 11 二、 原子层刻蚀为未来技术发展方向 11 第三章 项目概述 15 一、 项目名称及投资人 15 二、 编制原则 15 三、 编制依据 16 四、 编制范围及内容 16