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泓域咨询/呼和浩特机械设备项目可行性研究报告
目录 TOC \o 1-3 \h \z \u
第一章 行业、市场分析 8
一、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术 8
二、 等离子体刻蚀面临的问题 9
三、 离子束刻蚀 10
第二章 项目基本情况 11
一、 项目名称及项目单位 11
二、 项目建设地点 11
三、 可行性研究范围 11
四、 编制依据和技术原则 12
五、 建设背景、规模 14
六、 项目建设进度 15
七、 环境影响 15
八、 建设投资估算 15
九、 项目主要技术经济指标 16
主要经济
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