浮动式无油涡旋真空泵的结构和特点.docxVIP

浮动式无油涡旋真空泵的结构和特点 浮动式涡旋压缩技术通过精细的力平衡，使得动涡旋盘在动态运行过程中，在无油或微油的条件 下，始终与定涡旋盘保持适当的接触，达到完全密封状态，同时又把摩擦损失最小化，从而使容积效 率和可靠性推到极致，成为最理想的清洁真空获得设备之一。 浮动式涡旋干泵因其精细的力平衡结构，使气体能在偏离绝热而接近等温过程中压缩，减少了功耗。动涡卷盘可以采用铝以外的其他工程塑料。以 PEEK 为例，在动态运行过程中可与铝质定涡卷盘直接接触密封，解决传统涡旋技术所存在的“径向泄漏”和“切向泄漏”的技术难题，提高其密封性，减少压缩腔之间的泄露，增加压缩效率和极限真空度。同时PEEK 材料与铝质阳极氧化膜的自润滑性能，能基本抵消其动定涡卷盘相互接触运动所产生的摩擦力，使泵在整个寿命过程中，一直处于最佳的工作、密封状态，不会因长时间工作而导致极限真空度降低、抽速变小的现象产生。 图1 浮动式涡旋干泵动涡卷图 浮动式涡旋干泵结构的涡卷盘型线顶端设置有“肥头”结构，促使其理论死容积为“零”，结合动涡卷盘动态运动过程中的径向和轴向浮动能力，该种结构干泵的水蒸汽处理能力、粉尘容忍能力更强，不会因为在水汽过多的工作环境中，压缩凝结成过多液态水时，因“水锤”效应而导致泵直接受损。 因上述结构特点，使浮动式涡旋干泵，不仅不需要 PTFE 顶密封，而且在整个长时间连续工作过程中，几乎不受热